我們提供專業服務於半導體用準分子激光系統

準分子激光光源系統:

• 193nm 波長 ArF 激光光源

• 248nm 波長 KrF 激光光源

準分子激光零組件維修品項

• • Auto shutter and PCB

  • HVPS

  • RC

  • COMMUTATOR

  • Compression head BMC

  • Gas module

  • Coolant module

  • GS-1, GS-2 power supply

  • Blower motor controller

  • Laser RTM system

  • F2 Trap, OC

  • Laser Chamber

  • Ultra 10 workstation

  • Lens A / B / C

技術服務項目: 

• 準分子雷射維修

• 準分子雷射重整翻新

• 準分子雷射系統生產效率升級

• 準分子雷射系統監控系統開發

• 長期技術維修合約服務

客製開發專案:

• 零組件使用延長使用, 降低定保週期

• 準分子雷射系統效能升級

• 客製零組件開發