准分子雷射光学镜片

准分子雷射光学镜片, 相对于市场常见的雷射镜片, 有不同材料选择, 研磨技术与镀膜材料, 镀膜技术, 等高端规格而产出的, 然能于高阶高品质稳定的准分子雷射镜片深化应用的厂商在高科技领域屈指可数. 如上所述其含诸多复合的专业供应商为市场提供合适产品

材料选择: Fused Silica, MgF2, CaF2. 除选择适用材料外, 依材料供应商品质不齐, 影响参数有材料纯度, 不纯物内容, 透光度, 折射率等.

研磨加工: 加工外型, 角度, 曲度, 研磨精度, 表面平整度, 表面刮痕等重要参数

镀膜制程: 镀膜材料, 镀膜设备, 镀膜原理, 镀膜参数配方等之重要参数

我司供应商已具备以上完整技术方案. 提供合适应用产品

为何于准分子雷射镜片不同于其他雷射镜片, 主要其在DUV深紫外光波段, 故有材料使用寿命的挑战, 镀膜剥离脱落, 穿透率低等问题, 另其于雷射腔接触气体面在高反应化学气体使用环境, 更是镀膜品质稳定的一大考验